【摘 要】
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本文结合某三极管内引线键合失效的实例，利用扫描电镜、能谱分析等手段，研究了三极管Au—Al键合系统中一种典型的脱键失效模式，结果表明，在器件内部水汽及电场、温度的共同作用下
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本文结合某三极管内引线键合失效的实例，利用扫描电镜、能谱分析等手段，研究了三极管Au—Al键合系统中一种典型的脱键失效模式，结果表明，在器件内部水汽及电场、温度的共同作用下，从由于Kirkendall效应而在Au—Al键合界面间形成的，且与器件内部气氛相通的微裂纹处发生Al的电化学腐蚀，由于腐蚀产物的体积膨胀效应，最终导致发射极内引线与引线柱之间脱键失效。建议严格控制器件的生产工艺环境以及内引线的键合工艺，防止类似失效故障的发生。
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