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用MOCVD法在蓝宝石衬底上得到了ZnO（0002）膜，并用XRD和SEM进行了表征．结果表明，薄膜中沿[0001]择优取向生长的柱状晶垂直于衬底表面，晶柱之间存在着边界和间隙．x射线中扫描实验结果表明．晶柱之间的取向偏差在3°-30°之间，X射线ω摇摆曲线和谱线宽度分析结果表明，薄膜中的晶柱是由多个晶粒堆叠而成，且晶粒之间的平均取向偏差也在2．6°以上．实验结果表明，ZnO大失配度异质外延膜是c轴[001]取向柱状多晶体，ZnO薄膜的结晶不完整性主要是由其柱状晶结构造成的。