【摘 要】
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稳定可靠的直流电源是直流磁控溅射镀膜质量的关键,本文采用开关频率为50 kHz的半桥拓扑,对主回路结构和参数进行设计。以SG3525控制芯片为核心,对控制回路按小信号模型建模,
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稳定可靠的直流电源是直流磁控溅射镀膜质量的关键,本文采用开关频率为50 kHz的半桥拓扑,对主回路结构和参数进行设计。以SG3525控制芯片为核心,对控制回路按小信号模型建模,使用PI补偿网络,通过电阻负载实验得到稳定的直流。
Stable and reliable DC power supply is the key to the DC magnetron sputtering coating quality. In this paper, the half-bridge topology with switching frequency of 50 kHz is used to design the structure and parameters of the main circuit. Taking SG3525 control chip as the core, the control loop is modeled as a small signal model and the PI compensation network is used to obtain stable DC through resistance load experiment.
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