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本文首次讨论了常压下MOVPE生长技术在大批量生产InP基质光-电器件方面的应用,并介绍了材料目前的质量、大面积均匀性、器件性能、产率及可靠性等方面的情况。结果表明用MOVPE技术生长InP基质的器件已从研究开发阶段向大批量生产过渡。
用MOVPE法制备高性能InP基质光电器件
【摘 要】
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本文首次讨论了常压下MOVPE生长技术在大批量生产InP基质光-电器件方面的应用,并介绍了材料目前的质量、大面积均匀性、器件性能、产率及可靠性等方面的情况。结果表明用MOVP
【出 处】
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发光快报
【发表日期】
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1989年4期
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