【摘 要】
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采用了一种新颖的电子器件装配制造方法.InAs 纳米线场效应晶体管通过介电泳方法装配,在装配之前,InAs 纳米线放入到（NH）2Sx溶液进行湿法刻蚀来去除表面的氧化层.装配后的器件
【机 构】
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沈阳建筑大学信息与控制工程学院,沈阳建筑大学土木工程学院
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采用了一种新颖的电子器件装配制造方法.InAs 纳米线场效应晶体管通过介电泳方法装配,在装配之前,InAs 纳米线放入到（NH）2Sx溶液进行湿法刻蚀来去除表面的氧化层.装配后的器件用原子力显微镜表征.实验结果表明,当施加频率2MHz 和电压10V 时,InAs 纳米线装配的成功率很高.同时,该方法和实现技术也可发展应用于其它一维纳米材料的规模化装配制造研究上.
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