【摘 要】
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激光微抛光过程中,激光的能量密度对微抛光效果的影响很大.采用纳秒紫外脉冲激光（波长为355 nm,脉冲宽度为35 ns）对316L不锈钢材料进行微抛光实验研究,分析了工件表面的形貌、
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,金日成综合大学科技及实验仪器研究所
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激光微抛光过程中,激光的能量密度对微抛光效果的影响很大.采用纳秒紫外脉冲激光（波长为355 nm,脉冲宽度为35 ns）对316L不锈钢材料进行微抛光实验研究,分析了工件表面的形貌、扫描速度和离焦距离等因素对激光微抛光效果的影响.通过对4种不同表面形貌的抛光效果比较,发现不仅表面粗糙度会影响抛光质量,而且表面的形貌也对激光微抛光的效果有很大影响;激光微抛光时对确定的激光能量密度存在最佳微抛光效果的扫描速度和离焦距离.提出了355 nm紫外纳秒脉冲激光器对316L不锈钢微抛光效果的最佳工艺参数：激光能量密度
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