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考虑声表面波驱动器直接驱动工作物体，能量损失小。传动误差小，且尺寸小，噪声低。抗电磁干扰等特点，基于MEMS技术并采用在LiNbO3基底上加工微型电极的方式制作了一种声表面波微驱动器。为了更加有效地控制驱动方向，提出了一种新型叉指结构，即浮动电极型单向换能器，然后利用ANSYS软件，对声表面波换能器进行了优化设计和分析，制作出了孔径尺寸为5mm，电极厚度为0．8μm，指宽为6．7μm，周期为80μm的浮动电极型单向换能器。该声表面波驱动器比以往的驱动器具有更高的谐振频率（接近50MHz）和更有效的方向可控