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重点阐述氧化铟锡（ＩＴＯ）导电玻璃的发展状况，分析了介绍了研制的自动连续镀膜生产线的各种工艺，技术，设备，并总结整套设备民达到的水平。
ITO膜发展现状及工艺技术分析
【摘 要】
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重点阐述氧化铟锡（ＩＴＯ）导电玻璃的发展状况，分析了介绍了研制的自动连续镀膜生产线的各种工艺，技术，设备，并总结整套设备民达到的水平。
【机 构】
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深圳亨达莱真空技术工程有限公司
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1998年1期
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