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本文介绍了一种全新的硅单晶生长方法。通过大量实验对ＣＦＺ法生长技术和特点作了描述，并对ＣＦＺ的应用作了讨论。
CFZ单晶的生产及特点
【摘 要】
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本文介绍了一种全新的硅单晶生长方法。通过大量实验对ＣＦＺ法生长技术和特点作了描述，并对ＣＦＺ的应用作了讨论。
【机 构】
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天津市半导体材料厂,电子部第四十六研究所
【出 处】
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半导体杂志
【发表日期】
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1998年03期
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