【摘 要】
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该文提出了一种新的高频复磁导率的测试方法.首先确定E4991A射频阻抗/材料分析仪的测量原理为单线圈法,在此基础上推导出了测量有衬底磁性薄膜复磁导率所适用的公式.在实际测
【机 构】
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清华大学材料系电子显微镜实验室,清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
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该文提出了一种新的高频复磁导率的测试方法.首先确定E4991A射频阻抗/材料分析仪的测量原理为单线圈法,在此基础上推导出了测量有衬底磁性薄膜复磁导率所适用的公式.在实际测试过程中,将衬底放入夹具中作夹具短路补偿,减小了由衬底带来的误差;通过反复验证,弄清了系统提供的阻抗值表示的意义,并据此对磁导率的计算公式进行了修正,最后给出了磁性薄膜复磁导率的测量结果.实验表明,该方法简便易行,所得数据与文献中同类薄膜的测量数据基本符合.
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