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介绍了硅片上电镀铅锡合金工艺,并对镀液中各成分的作用及影响镀层质量的因素进行了探讨.
硅片上电镀铅锡合金工艺
【摘 要】
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介绍了硅片上电镀铅锡合金工艺,并对镀液中各成分的作用及影响镀层质量的因素进行了探讨.
【机 构】
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杭州武林机器厂,浙江缙云四方电子有限公司
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2002年8期
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