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介绍了聚焦离子束显微镜的基本功能及工作原理,分析了影响离子束显微镜影像的因素.详细介绍了气体在聚焦离子束系统中的作用,对刻蚀气体与沉积气体种类进行了介绍,刻蚀气体可对不同的材料进行选择性刻蚀,而沉积气体可以沉积金属或介质,以进行电路的修改.
FIB的工作原理及其应用
【摘 要】
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介绍了聚焦离子束显微镜的基本功能及工作原理,分析了影响离子束显微镜影像的因素.详细介绍了气体在聚焦离子束系统中的作用,对刻蚀气体与沉积气体种类进行了介绍,刻蚀气体可
【机 构】
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电子元器件可靠性物理及应用技术国家级重点实验室,广东,广州,510610
【出 处】
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第十三届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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2009年10期
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