沉积气体相关硕士博士期刊学术论文 - 信丰网

沉积气体相关论文

积气氛对ICPECVD制备硬质类金刚石膜的影响

在感应耦合等离子体增强化学气相沉积(ICPECVD)制备硬质类金刚石膜过程中采取CH4-O2和CH4-Ar两种不同的沉积气体体系,研究其对类金......

会议

感应耦合等离子体化学气相沉积类金刚石膜沉积气体薄膜

FIB的工作原理及其应用

介绍了聚焦离子束显微镜的基本功能及工作原理,分析了影响离子束显微镜影像的因素.详细介绍了气体在聚焦离子束系统中的作用,对刻......

期刊

聚焦离子束显微镜电路修改刻蚀气体沉积气体

看过本文同时还关注