【摘 要】
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采用直流磁控溅射镀膜工艺,在不同的氮氩流量比条件下,制备了玻璃基Ti N薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM、EDS)、纳米显微硬度仪,研究了Ti N薄膜的组织结
【机 构】
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武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,江苏秀强玻璃工艺股份有限公司
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采用直流磁控溅射镀膜工艺,在不同的氮氩流量比条件下,制备了玻璃基Ti N薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM、EDS)、纳米显微硬度仪,研究了Ti N薄膜的组织结构、物相组成、表面形貌、元素成份、维氏硬度,分析了氮氩流量比对Ti N薄膜结晶取向、硬度的影响机理。结果表明,在低的氮氩流量比条件下,Ti N薄膜以(111)晶面择优取向;随着氮氩流量比增加,择优取向由(111)晶面向(200)晶面过渡;氮氩流量比为1∶2时薄膜以(200)晶面择优取向;继续增加氮氩流量比(1∶2~2∶1
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