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氮氩流量比相关论文
氮氩流量比对玻璃基TiN薄膜的结构和硬度的影响
采用直流磁控溅射镀膜工艺,在不同的氮氩流量比条件下,制备了玻璃基Ti N薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(SEM、EDS......
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磁控溅射
玻璃基TiN薄膜
硬度
氮氩流量比
多弧离子镀TiAlN薄膜的制备及其抗氧化性能
目前,关于氮氩比对TiAlN薄膜高温抗氧化性能影响的研究较少。采用多弧离子镀技术在M2高速钢上沉积TiAlN薄膜,利用SEM、XRD等方法研......
期刊
多弧离子镀
TiAlN薄膜
氮氩流量比
M2高速钢
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抗氧化性能
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