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本文讲述用于计量测试的光波干涉光路设立的一般方法和技巧.列举用白光串联干涉光路作定位原理以及用激光源球面波干涉环调整镜面平行,检测镜面间平行的原理.
常用计量技术中光波干涉讲座(四) 光波干涉光路设立技巧及应用
【摘 要】
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本文讲述用于计量测试的光波干涉光路设立的一般方法和技巧.列举用白光串联干涉光路作定位原理以及用激光源球面波干涉环调整镜面平行,检测镜面间平行的原理.
【机 构】
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中国测试技术研究院
【出 处】
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实用测试技术
【发表日期】
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2002年2期
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