论文部分内容阅读
对于高端光学元件，除限制低频面形误差和高频表面粗糙度之外，需要严格控制中频误差，以确保其使用性能。目前国际上广泛采用功率谱密度（Power spectral density,PSD）曲线评价中频误差，该方法以Fourier变换为基础，在全局水平上给出中频误差的综合评价。但是，光学元件磨削与抛光工艺过程中，局部波动和变周期波动是常见的中频误差存在形式。为更加准确地评价中频误差，指导补偿加工，需要识别中频误差频率及位置信息。鉴于此，从光学表面属于非平稳空间信号的角度出发，提出基于经验模态分解的精密光学表面中频