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化学机械抛光过程中，抛光垫性能是影响抛光质量和抛光效率的重要因素之一，而抛光垫的性能又受其表面沟槽结构形状的影响。在介绍几种常见抛光垫沟槽结构形状的特性及其作用研究的基础上，介绍了新型抛光垫沟槽的研究进展，总结了几种新型抛光垫沟槽对抛光效果的影响，为抛光垫沟槽特性的进一步研究提供参考。
新型抛光垫沟槽及其在化学机械抛光中的作用研究进展
【摘 要】
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化学机械抛光过程中，抛光垫性能是影响抛光质量和抛光效率的重要因素之一，而抛光垫的性能又受其表面沟槽结构形状的影响。在介绍几种常见抛光垫沟槽结构形状的特性及其作用研究
【机 构】
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广东工业大学机电工程学院
【出 处】
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金刚石与磨料磨具工程
【发表日期】
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2012年2期
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