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用平面干涉仪测量立方体直角的方法方便快捷,适应于大批量的方体加工。对影响平面干涉仪测立方体直角方法误差影响因素进行了分析,确定了面形误差与角度相互配置的合理允差值。为方体加工中角度控制及测量提供了科学理论依据。
平面干涉仪测立方体直角方法误差分析
【摘 要】
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用平面干涉仪测量立方体直角的方法方便快捷,适应于大批量的方体加工。对影响平面干涉仪测立方体直角方法误差影响因素进行了分析,确定了面形误差与角度相互配置的合理允差值
【机 构】
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华中光电技术研究所
【出 处】
：
科学技术创新
【发表日期】
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2018年25期
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