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首先论述了投料策略对于半导体晶圆制造系统性能提升的重要性;随后将投料策略划分为常规投料策略、分产品分层控制投料策略、投料派工综合策略三类,并从这三个方面分别对投料策略进行了细致的归纳与具体的分析。最后,指出了投料策略未来的发展方向和存在的问题。
晶圆制造系统投料策略综述
【摘 要】
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首先论述了投料策略对于半导体晶圆制造系统性能提升的重要性;随后将投料策略划分为常规投料策略、分产品分层控制投料策略、投料派工综合策略三类,并从这三个方面分别对投料
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院
【出 处】
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工业工程与管理
【发表日期】
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2011年06期
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