【摘 要】
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SOI压力传感器是一种新型的、先进的物性型压力传感器。其采用硅氧化物实现压力芯片的敏感元件和与基片之间的电隔离，替代传统的pn结电隔离技术，打破极限使用温度上限的局限性，
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SOI压力传感器是一种新型的、先进的物性型压力传感器。其采用硅氧化物实现压力芯片的敏感元件和与基片之间的电隔离，替代传统的pn结电隔离技术，打破极限使用温度上限的局限性，不存在微漏电通道，保障在高温条件下长期稳定工作。SOI压力传感器可广泛应用于石油、化工、冶金、航天、航空、船舶等领域的高温压力检测，极好地解决了高温传感器性能指标稳定性差，高低温宽温区的性能兼容性和分散性较大，环境试验适应性差、寿命短和可靠性低等技术难题。
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