【摘 要】
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采用射频磁控溅射法在n-Si（100）衬底上依次沉积氧化铝膜（Al2O3）和铁掺杂非晶碳薄膜（aC：Fe）,制成（a-C：Fe）/Al2O3/Si异质结太阳能电池,研究了氩气流量对光伏性能的影响.在20sccm到40sccm
【机 构】
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三峡大学理学院,三峡大学材料与化工学院,新能源微电网湖北省协同创新中心（三峡大学）
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采用射频磁控溅射法在n-Si（100）衬底上依次沉积氧化铝膜（Al2O3）和铁掺杂非晶碳薄膜（aC：Fe）,制成（a-C：Fe）/Al2O3/Si异质结太阳能电池,研究了氩气流量对光伏性能的影响.在20sccm到40sccm范围内调节氩气流量,结果表明,氩气流量的大小对异质结太阳能电池的光伏性能有显著的影响,合适的氩气流量能显著增大（a-C：Fe）/Al2O3/Si异质结太阳能电池的开路电压和短路电流密度,进而增大异质结太阳能电池的光电转换效率.在氩气流量为30sccm时,异质结太阳能电池光电转化效果达到
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