【摘 要】
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硅基正弦波纹微通道在微尺度强化换热、微流体器件中均有重要运用，而目前尚未见有关于其内部流动特性的实验报道。利用标准微机电系统（MEMS）工艺在硅基芯片上加工制成一系列具有
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硅基正弦波纹微通道在微尺度强化换热、微流体器件中均有重要运用，而目前尚未见有关于其内部流动特性的实验报道。利用标准微机电系统（MEMS）工艺在硅基芯片上加工制成一系列具有不同相位差和周期、当量直径为160μm的正弦波纹微通道，通过实验研究了其内部流动阻力特性。研究表明：正弦波纹微通道较平直微通道阻力均有增加，且增加幅度与波纹微通道两侧壁的相位差和周期有关。对于周期相同的波纹微通道，两侧壁相位差越大，阻力也越大。对于相位差相同的波纹微通道，周期对阻力的影响则较为复杂：当相位差为0时，呈现出周期越大、阻力越小
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