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溶胶-凝胶法制备ZAO透明导电氧化物薄膜的研究进展
溶胶-凝胶法制备ZAO透明导电氧化物薄膜的研究进展
来源 :电工材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangsh1967
【摘 要】
:
溶胶-凝胶法是一种高效的制膜技术。本文综述了溶胶-凝胶法制备氧化锌铝(ZAO)透明导电氧化物薄膜(TCO)的原理、特点及研究进展,指出了采用溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜今后急需解决的问
【作 者】
:
徐模辉
王华
【机 构】
:
桂林电子科技大学信息与通信学院,桂林电子科技大学信息材料科学与工程系
【出 处】
:
电工材料
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
溶胶-凝胶法
氧化锌铝(ZAO)
透明导电氧化物薄膜(TCO)
sol-gel methodZAOtransparent conducting thin fil
【基金项目】
:
广西高校百名中青年学科带头人资助计划项目(RC20060809014)
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溶胶-凝胶法是一种高效的制膜技术。本文综述了溶胶-凝胶法制备氧化锌铝(ZAO)透明导电氧化物薄膜(TCO)的原理、特点及研究进展,指出了采用溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜今后急需解决的问题。
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