【摘 要】
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UV -LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理 ,它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射 ,并模拟数值计算了硅片表
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所,中国科学院光电技术研究所 成都610209,成都610209,成都610209
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UV -LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理 ,它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射 ,并模拟数值计算了硅片表面的光强分布 ,最后给出了光刻结果
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