PLC在电子束单晶熔炉控制系统中的应用

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介绍了电子束单晶熔炉的工作原理,对控制原理进行了分析,提出用西门子200系列的可编程程序控制器对电子束单晶熔炉进行逻辑控制.结合电子束单晶熔炉对控制系统的要求,分别对控制软件的作用和构成进行了详细的说明.控制系统运行表明:控制系统的软、硬件功能比较完善、工作可靠.
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