【摘 要】
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当利用激光干涉法对大型工件进行现场测量时，需铺设长行程直线导轨，导致测量系统结构复杂；为解决该问题，采用模块化接杆式结构的可伸缩测量臂，设计了一套基于激光干涉位移测量的大型工件内径测量系统。该系统由位移测量模块、旋转驱动模块和数据获取与处理模块三部分组成；位移测量模块的测量臂采用双支撑外径递减式结构，有效减少了大尺寸测量时的弯曲变形；采用Pratt法与LM法相结合的融合法进行最小二乘法圆拟合，精确
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（51875530）；
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当利用激光干涉法对大型工件进行现场测量时，需铺设长行程直线导轨，导致测量系统结构复杂；为解决该问题，采用模块化接杆式结构的可伸缩测量臂，设计了一套基于激光干涉位移测量的大型工件内径测量系统。该系统由位移测量模块、旋转驱动模块和数据获取与处理模块三部分组成；位移测量模块的测量臂采用双支撑外径递减式结构，有效减少了大尺寸测量时的弯曲变形；采用Pratt法与LM法相结合的融合法进行最小二乘法圆拟合，精确得到被测工件半径和圆度等参数。对研制系统装置进行了定心实验、系统静态稳定性实验、实际工件内径测量及重复性实验等，重复性测量实验测得同一圆周的半径和圆度标准偏差分别为17.60、25.48 μm，不同圆周的半径和圆度标准偏差在几十微米内波动，符合测量工件的加工精度。结果表明该系统可应用于大型工件的现场测量，可有效检测和评估工件内径和圆度等参数。
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