【摘 要】
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采用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶和直流磁控溅射Ag靶的方法制备了ZnO／Ag／ZnO多层膜。用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、四探针测试仪和金相显微镜对ZnO／Ag/ZnO薄膜的结构、光学透
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采用射频磁控溅射ZnO陶瓷靶和直流磁控溅射Ag靶的方法制备了ZnO／Ag／ZnO多层膜。用X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计、四探针测试仪和金相显微镜对ZnO／Ag/ZnO薄膜的结构、光学透过率、方阻和稳定性进行了研究。结果表明，ZnO（60nm）／Ag／（10nm）／ZnO（60nm）薄膜呈现多晶结构，薄膜在520nm处的光学透过率高达87.5％，方阻Rs为6．2Ω／□。随着顶层ZnO薄膜厚度的增加，ZnO／Ag／ZnO薄膜的稳定性提高。
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