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利用真空电子束蒸发的方法制备了 SnO_2薄膜,对膜的结构进行了分析,研究了 Sb_2O_3和 Bi_2O_3的掺加对 SnO_2薄膜电阻的影响.并对所得到的结果进行了分析和讨论。
Sb2O3和Bi2O3掺量对SnO2薄膜电阻的影响
【摘 要】
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利用真空电子束蒸发的方法制备了 SnO_2薄膜,对膜的结构进行了分析,研究了 Sb_2O_3和 Bi_2O_3的掺加对 SnO_2薄膜电阻的影响.并对所得到的结果进行了分析和讨论。
【机 构】
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北京玻璃研究所
【出 处】
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仪表材料
【发表日期】
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1990年1期
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