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为了提高现有清洗机械手结构的适用性和可靠性,通过调研实际工况和有限元分析,对现有清洗机械手进行结构和尺寸优化.通过优化分析,晶圆的脱片和碎片风险得以降低,清洗机械手的适用性和可靠性得到了实质性提升.
CMP清洗传输机械手的优化设计
【摘 要】
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为了提高现有清洗机械手结构的适用性和可靠性,通过调研实际工况和有限元分析,对现有清洗机械手进行结构和尺寸优化.通过优化分析,晶圆的脱片和碎片风险得以降低,清洗机械手的适用性和可靠性得到了实质性提升.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京 100176
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年6期
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