傅里叶变换轮廓术中物体高度最佳恢复条件

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在分析傅里叶变换轮廓术中传统的高度与相位关系的基础上,推出了高度与相位的普通关系式,提出了物体高度最佳恢复条件的新理论,给出了简单的物理解释.由此得出结论:物体高度最佳恢复时的几何参量a(双瞳连线与参考面夹角)大小与系统几何结构参量a、b有关.计算机仿真验证了:当a=600mm、b=3000mm时,可得物体高度最佳恢复时的a=arcsin(1j5),此时所得的标准差为0.2697;作为对比:当d=0时,所得的标准差为0.2956.实验验证了:a=arcsin(1/5)时的恢复效果比a=0时的恢复效果更好些
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