多层HgCdTe异质外延材料的热退火应力分析

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cclone

【摘要】

：

前期研究采用高温热处理方法,获得了抑制位错的最佳退火条件.通过比对实验,发现不同衬底上HgCdTe表面的CdTe钝化层在热处理过程中对位错的抑制作用各有不同.结合晶格失配应力

【作者】

：

沈川顾仁杰陈路何力

【机构】

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中国科学院上海技术物理研究所红外材料与器件重点实验室,中国科学院研究生院

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2013年2期

【关键词】

：

碲镉汞碲化镉钝化层热退火位错应力 HgCdTe CdTe passivation layer thermal annealing dislocation

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前期研究采用高温热处理方法,获得了抑制位错的最佳退火条件.通过比对实验,发现不同衬底上HgCdTe表面的CdTe钝化层在热处理过程中对位错的抑制作用各有不同.结合晶格失配应力和热应力对不同异质结构进行理论计算,借助X射线摇摆曲线的倒易空间分析,解释了CdTe钝化层对HgCdTe位错抑制的影响作用.

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