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在CVD金刚石膜生长过程中,衬底温度、热丝电流、反应室真空度和气源流量等是其重要的工艺参数。针对CVD金刚石膜沉积生长中四个重要的工艺参数,本文设计了数据采集系统。选用片内集成模拟量采集模块的8098单片机为下位机,上位机采用工控机,通过RS232串口进行通信。该主从式数据采集系统,硬件配置简单,抗干扰能力强,软件编程方便,人机界面友好。该系统己通过调试,运行良好。