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本文描述了一种以二维正交反射光栅为计量基准元件，以透射光栅为分光元件的二维光栅干涉仪，从研究光栅表面的光扰动出发，分析了这种干涉仪的原理及所用光栅间的匹配关系，通过实验分析了干涉仪的调整方法及主要误差，实验结果表明：这种新型二维光栅干涉仪在精密线值计量方面有着良好的应用前景。
一种二维光栅干涉仪的研究
【摘 要】
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本文描述了一种以二维正交反射光栅为计量基准元件，以透射光栅为分光元件的二维光栅干涉仪，从研究光栅表面的光扰动出发，分析了这种干涉仪的原理及所用光栅间的匹配关系，通过实验
【机 构】
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北京大学遥感与地理信息系统研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2004年期
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