正交衍射光栅透射光栅光栅干涉仪相关硕士博士期刊学术论文

本文描述了一种以二维正交反射光栅为计量基准元件，以透射光栅为分光元件的二维光栅干涉仪，从研究光栅表面的光扰动出发，分析了这种干......