【摘 要】
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以阴极电弧离子镀技术为依托,以绝缘氧化物薄膜的制备工艺研究为目的,试验利用脉冲磁复合磁场技术,对氧化物薄膜制备工艺过程进行研究。结果表明:采用阴极电弧离子镀技术可以
【机 构】
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四川大学分析测试中心,四川大学机械制造科学与工程学院,柴油机高增压技术国防科技重点实验室
【基金项目】
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国防科技重点实验室基金项目(6142212180103)
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以阴极电弧离子镀技术为依托,以绝缘氧化物薄膜的制备工艺研究为目的,试验利用脉冲磁复合磁场技术,对氧化物薄膜制备工艺过程进行研究。结果表明:采用阴极电弧离子镀技术可以实现多种绝缘氧化物薄膜的制备;阴极电弧氧化物涂层过程中薄膜具有外延生长的特征,AlTiN有利于促进氧化物薄膜的快速生长,α-Cr2O3的结晶结构和晶格参数与α-Al2O3相近,可促进α-Al2O3的生成;AlTiO的沉积速率1.2~1.875μm/h·CAE,ZrO2沉积速率1.833μm/h·CAE;可以实现柱状晶ZrO2
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