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集成电路中产生的废气是比较多的,主要是由化学气相沉积和挥发性有机物两种,常用的处理措施有除害装置、集中处理、原料替代和减少用量等。就集成电路制造中废气处理措施进行了分析。
集成电路制造中废气处理措施
【摘 要】
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集成电路中产生的废气是比较多的,主要是由化学气相沉积和挥发性有机物两种,常用的处理措施有除害装置、集中处理、原料替代和减少用量等。就集成电路制造中废气处理措施进行
【机 构】
：
有研半导体材料有限公司
【出 处】
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云南化工
【发表日期】
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2019年8期
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