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利用ＰＣＶＤ方法，对在ＡｌＮ基板上合成金刚石薄膜进行实验研究，并就提高金刚石薄膜热导率及增强其与基底的粘附力学等问题进行分析和讨论。
PCVD方法合成A1N基金刚石薄膜热沉
【摘 要】
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利用ＰＣＶＤ方法，对在ＡｌＮ基板上合成金刚石薄膜进行实验研究，并就提高金刚石薄膜热导率及增强其与基底的粘附力学等问题进行分析和讨论。
【机 构】
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中国科技大学近代物理系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1997年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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