【摘 要】
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<正> 当代最尖端的技术要求最精密的加工技术水平。现在最高加工精度已达到0.01微米,正向着精度为0.01～0.005微米、表面粗糙度为0.001微米的超精密加工的目标前进。各年代加工
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<正> 当代最尖端的技术要求最精密的加工技术水平。现在最高加工精度已达到0.01微米,正向着精度为0.01～0.005微米、表面粗糙度为0.001微米的超精密加工的目标前进。各年代加工精度的进展见图1。为了使零件加工获得微米到零点几微米级的精度,必须采用能进行微小量切削的方法。为了用机械方式实现微小量切削,近年常用的是超精密切削机床,直接切削出超精密零件。例如: ①加速器的加速腔材料无氧铜,尺寸精度要求1～2微米,内孔、内孔的圆角半径及
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