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本文叙述了用石墨做电热器热迁移掺杂设备的研制,给出了温度梯度的控制方法,同时对石墨电热器的实际效果进行了小结。
用石墨做电热器的热迁移掺杂设备
【摘 要】
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本文叙述了用石墨做电热器热迁移掺杂设备的研制,给出了温度梯度的控制方法,同时对石墨电热器的实际效果进行了小结。
【机 构】
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内蒙古师范大学物理系,内蒙古师范大学物理系
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1989年2期
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