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研究了对双框架微机械陀螺性能有重要影响的关键制造技术，即不去胶条件下的电铸厚度检测、控制技术，以及结构层内应力的检测、控制技术。在此基础上采用本实验室自对准的难ＬＩＧＡ工艺制备出陀螺结构，其活动区面积为１．０×１．０ｍｍ＾２加框厚度４μｍ。经加电测试，已观测到内、外框架在空气中的振动。
双框架微机械陀螺制备关键技术
【摘 要】
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研究了对双框架微机械陀螺性能有重要影响的关键制造技术，即不去胶条件下的电铸厚度检测、控制技术，以及结构层内应力的检测、控制技术。在此基础上采用本实验室自对准的难ＬＩＧＡ工艺
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室,200050
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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1999年1期
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