光电子器件用透明导电膜

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【摘要】

：

本文介绍了低电阻率的铟锡氧化物（ＩＴＯ）透明导电膜的机理、制备及实验结果，并对某些参数在电阻率和透射率方面的影响作了讨论。 This paper introduces the mechanism, preparation

【作者】

：

顾培夫刘旭郑志东李海峰唐晋发

【机构】

：

浙江大学光科系

【出处】

：

激光与红外

【发表日期】

：

1995年05期

【关键词】

：

透明导电膜光电子器件铟锡氧化物透射率载流子密度薄膜器件低压反应离子镀杂质原子半导体材料导体膜

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本文介绍了低电阻率的铟锡氧化物（ＩＴＯ）透明导电膜的机理、制备及实验结果，并对某些参数在电阻率和透射率方面的影响作了讨论。 This paper introduces the mechanism, preparation and experimental results of low resistivity Indium Tin Oxide (ITO) transparent conductive film. The influence of some parameters on resistivity and transmittance is also discussed.

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