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综述了化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）工艺的特点与开发，以及CVD和PVD镀层及金刚石镀层刀具的性能和应用。中温CVD，PVD和金刚石镀层刀具等技术的进展标志着先进镀层应用时代的来临。
刀具镀层的技术进展
【摘 要】
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综述了化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）工艺的特点与开发，以及CVD和PVD镀层及金刚石镀层刀具的性能和应用。中温CVD，PVD和金刚石镀层刀具等技术的进展标志着先进镀层应用时代
【机 构】
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武汉广播电视大学
【出 处】
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理化检验(物理分册)
【发表日期】
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2002年7期
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