论文部分内容阅读
在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中，微系统数值仿真分析是一个重要研究领域．本文对MEMS中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述．分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向。
微机电系统多场耦合仿真分析
【摘 要】
：
在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中，微系统数值仿真分析是一个重要研究领域．本文对MEMS中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述．分析了该领域目前的研究现
【机 构】
：
西北工业大学工程力学系,中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,西北工业大学工程力学系
【出 处】
：
动力学与控制学报
【发表日期】
：
2004年1期
【基金项目】
：
中科院力学研究所LNM资助项目(2003002)．~~
其他文献
讨论了考虑延迟效应下化学反应体系的控制问题．在自催化化学反应系统中，将反应误差重新定义为实际反应状态与控制目标的差值，并基于Lyapunov稳定性理论和反同步思想，通过构造适当
以含主动调谐质量阻尼器（TMD）的建筑结构为研究对象，研究作用于TMD上的作动器输出力小于设计控制力时的控制方法。为了确定系统控制率，在满足线性矩阵不等式约束的前提下，通过优化
以BP神经网络、随机有限元法为基础，对u型电热微致动器进行了仿真分析．首先利用有限元分析软件ANSYS对u型电热微致动器进行有限元分析得到具体结构尺寸对微致动器最大位移的影
针对存在不确定性以及干扰的自由漂浮空间机器人关节空间轨迹跟踪问题,提出了一种基于鲁棒控制思想的神经网络鲁棒控制方法.对于控制器中由系统惯性参数不确定性引起的非线性