【摘 要】
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使用二次离子质谱分析 (SIMS)方法研究了As在碲镉汞分子束外延样品中的扩散系数.获得了在 240℃,380℃和 440℃温度下As在碲镉汞材料中的扩散系数,并发现它与退火过程中Hg的
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使用二次离子质谱分析 (SIMS)方法研究了As在碲镉汞分子束外延样品中的扩散系数.获得了在 240℃,380℃和 440℃温度下As在碲镉汞材料中的扩散系数,并发现它与退火过程中Hg的分压有关,且Hg空位对As的扩散有明显的辅助增强作用.研究表明在低温段的 240℃ /24~48小时的退火中As的扩散非常有限,对样品中As的浓度分布影响不大,而在高温段 380℃ /16小时和 440℃ /30分钟退火中,As扩散较为明显,能使原来的PN突变结变缓. 综合比较As杂质的电学激活以及As扩散因素,高温段 440℃ /30分钟的退火条件较理想.
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