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本文介绍了二次离子质谱仪的结构及其基本工作原理,并通过对典型应用的分析,介绍了二次离子质谱分析技术在高灵敏度碲镉汞红外焦平面探测器材料和器件制备工艺中的作用,特别是在结探监测和微量杂质监控方面所发挥的重要作用。
SIMS在碲镉汞红外焦平面探测器工艺中的应用
【摘 要】
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本文介绍了二次离子质谱仪的结构及其基本工作原理,并通过对典型应用的分析,介绍了二次离子质谱分析技术在高灵敏度碲镉汞红外焦平面探测器材料和器件制备工艺中的作用,特别
【机 构】
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华北光电技术研究所,北京,100015
【出 处】
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第二届全国先进焦平面技术研讨会
【发表日期】
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2006年8期
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