【摘 要】
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电子背散射衍射(EBSD)技术所获取的数据是基于逐点扫描标定的取向信息,再经取向信息统计计算后重新生成的图像,点与点之间的距离即为扫描步长。本文以溅射靶材用钽板(Ta)为研
【机 构】
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重庆大学材料科学与工程学院,重庆大学电子显微镜中心
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(Nos.51421001,51701032)
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电子背散射衍射(EBSD)技术所获取的数据是基于逐点扫描标定的取向信息,再经取向信息统计计算后重新生成的图像,点与点之间的距离即为扫描步长。本文以溅射靶材用钽板(Ta)为研究材料,在其他各项扫描及EBSD设置参数一致的情况下,系统研究了扫描步长的改变对重构微观组织的影响。研究发现,随着扫描步长的增大,晶粒尺寸增大,大角度晶界(>30°)占比增多,而扫描步长的改变对晶粒长径比、微区织构强度等影响较小。
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