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期刊论文
微悬臂梁传感器在气体检测方面的应用
微悬臂梁传感器在气体检测方面的应用
来源 :科技风 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jingjong
【摘 要】
:
本文对微悬臂梁传感器在三类气体检测领域中的研究现状进行梳理,对微悬臂梁检测的工作原理和工作模式进行了叙述,并对该类传感检测技术的前景做了展望,为微机电系统中传感技
【作 者】
:
张钊
梅永松
张毅
滕艳华
【机 构】
:
安徽理工大学材料科学与工程学院
【出 处】
:
科技风
【发表日期】
:
2020年9期
【关键词】
:
气体检测
工作模式
微悬臂梁
【基金项目】
:
国家级大学生创新创业训练计划项目(201910361065)
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本文对微悬臂梁传感器在三类气体检测领域中的研究现状进行梳理,对微悬臂梁检测的工作原理和工作模式进行了叙述,并对该类传感检测技术的前景做了展望,为微机电系统中传感技术的应用研究提供参考.
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