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以正硅酸乙酯（TEOS）为先驱体，采用N／a两步溶胶-凝胶法和自组装技术制备了具有超疏水性的薄膜。利用红外光谱（FT-IR）、扫描电子显微镜（SEM）、X射线光电子能谱（XPS）和接触角仪等测试方法对十八烷基三氯硅烷（OTS）修饰前后薄膜的结构、形貌、表面元素组成与润湿等性能进行了表征和分析。结果表明，制备的OTS-SiO2复合薄膜具有良好的超疏水性能，水滴在该薄膜上的最大静态接触角为156°，滚动角小于5°。