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针对应用某型扩散炉生产薄膜太阳电池玻璃基板易变形的问题,应用经过验证的数值方法对扩散炉中玻璃基板的辐射及对流传热特性进行研究,获得玻璃基板的温升特性和受热机制.发现远离炉壁的玻璃基板两侧都以受均匀对流加热作用为主;而最靠近炉壁的玻璃基板一侧受辐射作用加热的同时另一侧受对流作用冷却,在基板内部厚度方向产生了较大温度梯度.以玻璃基板的热流分布规律为条件进行板件“热-结构”耦合的有限元应力应变模拟,发现最靠近炉壁玻璃基板翘曲变形严重且与实际生产现象相符.最后提出改进措施并进行效果验证.